로봇 진단시스템은 반도체 및 LCD 설비에서 사용되는 로봇의 사용 조건 및 상태, 고장 현상 등을 자체적 으로 판단하여 문제가 발생하기 전에 사용자가 알 수 있도록 정보 및 Alarm을 제공하기 위해 개발된 시스템입니다.

 
※ 관련특허 : 로봇진단시스템 및 이를 이용한 로봇진단방법 (2011.01.20 출원 및 등록)
 
구분진단 항목 및 효과 적용 대상 설비

1. 로봇 고장 징후 포착

VHP ROBOT
- AMAT Endura-Metal
- AMAT Centura- Etch
- AMAT Producer-CVD
- AMAT Ultima-Etch, CVD

XP ROBOT
- AMAT Endura-Metal

2. 설비 예방정비를 통한 Stop Loss 최소화

3. 신속한 고장현상 분석 및 조치
   - 구동 Torque 편차에 의한 Robot Moving 이상 조기 감지
   - Moving Position 불량 감지
   - Motor Backlash 특성 불량에 의한 이상 발생 감지
 
로봇 진단 시스템 구성
 
1.캡쳐모듈 2.연산 모듈
- 상위 제어기와 드라이버간의 신호 복사
- 전기적 완전 절연처리
- 자체 CPU 내장하여 기능관리
- Driver에 직접 제어명령
- 디지털/아날로그 신호의 수치해석
- 신호처리용 DSP 프로세서 탑재
- 사용자 설정 값 저장
 
 
 
 
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