반도체 제조 장비에 사용되는 유독 Chemical이나, Gas에 의해 발생되는 냄새, Gas가 장비 외부로 누출 되어
라인 공조 System에 의해 확산되는 위험을 최소화 한 Air Curtain 입니다.

 
 

적용공정 및 특징

적용공정: Photo, CVD등 Spinner 및 Coater 사용 공정
냄새 확산 차단 효율 : 98%이상
 
 
 
 
 
 

적용공정 및 특징

장점 : Size 소형화, 설치조건용이
기능 : Auto/Manual 원격제어
Auto : Door Open 시 동작
Manual : Eng'r 판단에따른 동작결정
 
 
 
 

적용공정 및 특징

설비내 여유공간 배치
조절된 Air 공급 제어 기능 (동시 3chamber 제어)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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