Elbow Bearing 이탈로 인한 쳐짐 현상으로, P/C 발생과 함께 Elbow 자체 손상 및 Process Chamber 내부의 Heater, Blade의 손상을 초래 하게 되어 이를 개선한 제품입니다.

 
 

 

ELBOW 제원

Part No : 0040-04682(Upper), 0040-04680(Lower)
재질 : Aluminum
 

Bearing 제원

Part No : KOYO社
                 SV5203-3ZZSTCS3
Type : Steel ball
 

특징

기존 Elbow의 구조적인 변경과 기구의 보강을 통해
   문제원인 해결
동작성능 반영구적 보장
열에 의한 Elbow팽창 및 동작 중 진동 발생시도 쳐짐
   현상 미연에 방지
 
 
 
 
 
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