End-Effector는 Robot Arm끝에 장착하여 Road-Port 위에 Foup이 docking되었을 때 Wafer를 인식하는 Module입니다.
기존의 재질을 보완하여 부식방지 강화와 Particle issue를 최소화 하였습니다.

 
 

제원

Material : Aluminum
Finishing : Black A.D.
Screw : Peek
Sensor : FT-KV1 (SUNX)
AMP : FX-301
 

특징

Anodizing 이후 Teflon Coating을 하여 부식방지를 강화
Peek Screw 채용으로 부식방지 및 P/C 발생요소 감소
Sensor Align 기술 국산화 하여 현장에 즉시 set-up 가능
 
 

당사에서 특수 제작한 Jig를 이용하여 Sensor Align을 하고 있으며, 300mm 장비와 Foup 을 이용하여 End-Effector 의 wafer 인식 test를 통해 신규 제작 및 수리 시 에도 현장과 같은 완벽한 구현이 가능합니다.

 
 
 
 
 
 
 
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