FFU는 고청정도(Class1)를 요구하는 반도체설비의 상부에 설치하여 청정공기를 지속적으로 주입해 주는 장비입니다.
주로 EFEM 설비용으로 1FAN과 2FAN Type의 두가지 모델을 생산합니다.
 
 

제원

입력 전원 : AC100~240V 50/60Hz
소비 전력 : 90~400W
최대 풍량 : 2930m3/h(1Fan)
최대 풍속 : 0.2~1.7m/sec(1Fan)
재질 : Aluminum 2T/3T
소음 : 약 50dB~80dB
 
 

특징

0.1um~0.2um 입자크기 Filtering 및 주기적 Filter교체 용이
Aluminum body 제작으로 경량성 실현
고효율 Brushless DC motor, 적응적 AC motor 채택
PID제어를 통한 Automatic Fan control
Main장비와 RS232/422/485통신/LAN
진동센서 장착 및 구동상태 원격모니터링 S/W 구현
EFEM 구조에 적응적인 설계 및 제작 구현
타사 제품대비 고사양 저가정책 실현
 
 
 
 
 
 
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