Centura 5200, Centura E-MAX, Producer SE Buffer Robot으로, 200mm, 300mm ETCH, CVD, Metal 공정에사용하는
wafer 이송 로봇입니다.
 
 

제원

사용설비 : AMAT Producer Centura, Endura
사용공정 : CVD, ETCH, Diffusion Metal
Wafer Size : 200mm,300mm
사용환경 : Vacuum
반복 정밀도 : ± 0.1mm 이내
Robot의 특징 : Dual Blade 2axis DD(Direct Driver)
    Motor를 이용한 위치제어
 

Repair Ass’y

Motor (Etch, CVD, Ultima)
Hub
200mm Arm
200mm Pivot
300mm Arm
300mm Pivot
 

Repair Know-how

Original part를 사용하여 robot 교체 주기 연장
Particle 개선을 위한 Pivot 개조
Test System 구축하여 반복정밀도 및 동작 Test
 
Repair Process
 
 
 
 
 
 
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